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淺析晶圓接觸角的使用方法

更新時間:2021-05-26點擊次數:2353
  晶圓接觸角用于測試液體對固體的浸潤性,即各種液體對各種固體材料所形成的的大小判斷其浸潤水性。方法是在一固體水平平面上滴一液滴,測試固體表面上的固—液—氣三相交界點處,其氣—液界面和固—液界面兩切線把液相夾在其中所成的角即為接觸角。
  本儀器提供了Owens二液法計算表面能的功能,具體方法如下:
  利用已知液體的表面能γL和其分項γLD、γLP,(γLD為色散力,γLP為極性力)并測出液體在固體表面上的晶圓接觸角測定儀θ,側通過程序就可以計算出固體的表面能。用Owens法計算表面能時,所選的兩種測試液必須滿足如下的條件:
  1.兩種液體的γLP/γLD值不能接近,而且兩者的差距越大越好;
  2.兩種液體必須有不同的極性,即必須從極性液體中和非極性液體中各選一種液體。
  3.測試液不能使固體的表面發生溶解、膨脹和變形等。
  在計算表面能時,需要將液體A和液體B的色散力、極性力和分別測得的接觸角填入如圖所示的界面中。然后按“OK”鍵即可以計算出固體的表面能。
  兩基點法介紹:
  晶圓接觸角應用領域包含:玻璃,LCD、LCM平板顯示器、藍寶石玻璃、手表鏡片,手機和筆記本電腦的按鍵及外殼,CMOS攝像頭及數碼相機零組件,Si,InP,GaAs晶圓、晶片、光纖、電路板、X-ray鏡片、UV/IR鏡片、光盤讀寫頭零組件、光學元件等的水滴、接觸角。
  1、點選“基點”項。
  2、用鼠標點取兩基點,先左后右,結果自動計算并顯示。如果點擊錯誤,可以點擊鼠標右鍵,取消選定,重新測算。

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